（判断题）
离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
答案解析
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
离子注入中高能量意味着注入硅片更深处，低能量则用于超浅结注入。
离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。
（名词解析）
离子注入
（简答题）
与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
离子注入后为何退火？
离子注入的沟道效应
简述离子注入效应。
