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(填空题)

离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等()作用,而不像电子束是通过()效应进行加工。

正确答案

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答案解析

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    离子束加工时,由于离子质量大,当速度高、能量大时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称()。当速度低、能量小时,离子可以溅射镀覆在工件表面,称()。当能量速度()而倾斜撞击工件时,可将工件表面的分子,原子撞击出去,一层一层的剥离下来,称为()加工或()加工。

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