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(简答题)

电子束和固体样品作用时会产生哪些信号?它们各具有什么特点?

正确答案

1.电子束与固体样品作用时产生的信号。它包括:背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征x射线、俄歇电子。除了以上六种信号外,固体样品中还会产生例如阴极荧光、电子束感生效应等信号,经过调制后也可以用于专门的分析。
2.和光学显微镜相比,扫描电子显微镜具有能连续改变放大倍率,高放大倍数,高分辨率的优点;扫描电镜的景深很大,特别适合断口分析观察;背散射电子成像还可以显示原子序数衬度。
和透射电子显微镜相比,扫描电镜观察的是表面形貌,样品制备方便简单。

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