离子束加工是利用离子束对材料进行成形或表面改进的方法。在真空条件下，将由离子源产生的离子。经过加速，投射到材料表面，产生溅射和注入效应。它是靠微观的机械撞击能量束加工的。
主要应用在：利用离子撞击和溅射效应的离子束刻蚀，离子溅射镀膜和离子镀，以及离子注入效应的离子注入。
特点：加工精度高，易精确控制，污染少，加工应力小，变形极小。
相比较电子束加工，便宜。离子束加工具有更大的能量。
（简答题）
试述离子束加工的基本原理、应用、特点。
正确答案
答案解析
略
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（简答题）
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