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(简答题)

化学气相沉积(CVD)

正确答案

常压化学气相沉积,低压化学气相沉积,激光化学气相沉积,金属有机化合物化学气相沉积,等离子体化学气相沉积等目的是制备耐磨,抗氧化,抗腐蚀固态薄膜,适用于复杂零件及难熔金属、石墨、陶瓷等基体材料零件处理,可沉积难熔金属

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