1)原因:正胶的曝光区和负胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,而正胶的非曝光区和负胶的曝光区的光刻胶则不会在显影液中溶解。
正胶由以下物质组成:碱溶性的酚醛树脂,光敏性邻重氮醌和溶剂二甲苯等。显影液是氢氧化钠等碱性溶液。曝光的重氮醌退化,易溶于显影液,未曝光的重氮醌和树脂构成的胶膜难溶于碱性显影液。负胶大多数由长链高分子有机物组成,曝光的顺聚异戊二烯在交联剂作用下交联,成为体型高分子,并固化,不再溶于有机溶剂构成的显影液,而未曝光的长链高分子溶于显影液,显影时被去掉。
2)光刻流程:底膜处理→涂胶→前烘→曝光→显影→坚膜(后烘)→显影检验→刻蚀→去胶→最终检验
(简答题)
解释图中现象的原因和叙述流程
正确答案
答案解析
略
相似试题
(简答题)
某化合物分子式C8H7N,且NMR谱图中只有两组质子峰。 不饱和度 试解释NMR中饱和与弛豫现象产生的原因
(简答题)
试用海洋光学现象解释大洋水和近岸水具有不同颜色的原因。
(简答题)
解释图中的现象: (1)为什么临界相对分子质量前后斜率截然不同? (2)为什么剪切速率越大,斜率越小?
(简答题)
何谓压碱效应?解释产生这种现象的原因。
(判断题)
1只雌蛙能产4000粒、5000粒卵,卵受精后只有不足10%的能发育成为成体,按照达尔文观点解释造成这种现象的主要原因是遗传和变异。()
(简答题)
解释光球“临边昏暗”现象及其原因
(简答题)
描述质粒DNA的电泳图谱,并解释可能产生的现象及原因是什么?
(简答题)
请写出5种宝石学中的特殊光学现象,并分别解释其形成原因。
(填空题)
自动加速现象主要是()引起的,又称为();加速的原因可以由链终止受()控制来解释。