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(简答题)

解释图中现象的原因和叙述流程

正确答案

1)原因:正胶的曝光区和负胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,而正胶的非曝光区和负胶的曝光区的光刻胶则不会在显影液中溶解。
正胶由以下物质组成:碱溶性的酚醛树脂,光敏性邻重氮醌和溶剂二甲苯等。显影液是氢氧化钠等碱性溶液。曝光的重氮醌退化,易溶于显影液,未曝光的重氮醌和树脂构成的胶膜难溶于碱性显影液。负胶大多数由长链高分子有机物组成,曝光的顺聚异戊二烯在交联剂作用下交联,成为体型高分子,并固化,不再溶于有机溶剂构成的显影液,而未曝光的长链高分子溶于显影液,显影时被去掉。
2)光刻流程:底膜处理→涂胶→前烘→曝光→显影→坚膜(后烘)→显影检验→刻蚀→去胶→最终检验

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