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(简答题)

电子探针显微分析原理是什么?

正确答案

用聚焦电子束(电子探测针)照射在试样表面待测的微小区域上,激发试样中诸元素的不同波长(或能量)的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线,得到X射线谱。根据特征X射线的波谱(或能量)进行元素定性分析;根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。

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