（简答题）
APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
正确答案
常压化学气相淀积、低压化学气相淀积、等离子增强化学气相淀积和高密度等离子体化学气相淀积
答案解析
略
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（简答题）
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（单选题）
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（填空题）
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