(1)铝与P型硅及高浓度N型硅均能形成低欧姆接触;
(2)电阻率低
(3)与SiO2粘附性强,无需粘附层-----铝很容易和二氧化硅反应,加热形成氧化铝;
(4)能单独作为金属化布线,工艺简单;
(5)能用电阻丝加热蒸发,工艺简单;
(6)铝互连线与内引线键合容易;
(7)能轻易淀积在硅片上,可用湿法刻蚀而不影响下层薄膜。综上所述,在硅IC制造业中,铝和它的主要过程是兼容的,电阻低,可不加接触层、粘附层和阻挡层等,工艺简单,产品价格低廉。
(简答题)
解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。
正确答案
答案解析
略
相似试题
(简答题)
高科技产品常使用铝、钛、镁等轻金属及其合金作为制造材料,简述其特点和应用。
(名词解析)
微阵列芯片
(简答题)
解释水的去离子化。在什么电阻率级别下水被认为已经去离子化?
(判断题)
四号被别人误会时,一般不会选择解释。
(简答题)
你能解释一下为什么作为数百万年进化演变的结果,在一个完全被诱导的大肠杆菌细胞中,β-半乳糖苷酶、透过酶及乙酰基转移酶的拷贝数比例为1:0.5:0.2。这种不同的酶在数量上的差异是由于什么原因造成的?
(判断题)
自然选择学说能科学地解释生物界中物种的进化原因。()
(填空题)
金属材料分为黑色金属和()金属,铝属于()金属。
(填空题)
用EDTA单独测定铝时,一般采用()。即在()的混合离子溶液中(如Fe、A1、Ca、Mg共存),加入过量的()溶液,使存在于试液中()与EDTA配位的金属离子都与其配位。过剩的()以()返滴定。然后再向试液中加入(),此时()的配合物被置换,形成()配合物,相应地释放出等物质的量的()。然后再以()滴定释放出的(),从而可得出铝的含量。
(单选题)
属于()的金属有γ-Fe、铝、铜等.