（简答题）

5W281母盘CA1633YH染料出现LG第三点PO=1如何处理？

正确答案

（1）检查母盘数量；
（2）检查白片沟深、沟宽、厚度；
（3）检查OD；
（4）更换染料；
（5）更换母盘。

答案解析

略

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