A悬浮物
B尘埃
C污染颗粒
D浮质
（单选题）
He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。
答案解析
树脂的外形为（）的球状颗粒。
在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。
涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。
（多选题）
空气污染物按照处理性质来分：有（）。
真空蒸发又被人们称为（）。
离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。
电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。
扩散炉中的管道一般都是用（）制作。
