采用三明治金属结构，包括：
（1）淀积Ti，使钨塞和下一层金属良好键合，层间介质良好键合；
（2）Al，Au合金，加入铜抗电迁移；
（3）TiN作为下一次光刻的抗反射层；
（简答题）
描述金属复合层中用到的材料？
正确答案
答案解析
略
相似试题
（简答题）
为什么说金属基复合材料界面层成分、结构非常复杂？其界面结合方式有哪些？
（单选题）
1952年Hershey和Chase利用病毒作为实验材料完成的噬菌体试验中用到的关键技术是（）。
（单选题）
1952年Hershey和Chase利用病毒作为实验材料完成的噬菌体实验中用到的关键技术是（）。
（判断题）
最广泛应用的复合材料是金属基复合材料。
（简答题）
制备金属基体复合材料时，制备工艺的选择原则？金属基复合材料的制造难点是什么？
（简答题）
金属基复合材料的主要增强材料有哪些？
（简答题）
向复合材料和非金属耐磨材料方向
（名词解析）
金属基复合材料
（简答题）
金属复合材料的基体性能与应用？
