真空蒸发镀膜方法常见加热方式有哪些？

（1）电阻加热。蒸发源是以电阻加热并蒸发薄膜材料的方式为电阻加热。
（2）电子束加热。利用电子枪产生电子束，轰击薄膜材料使之受热蒸发。
（3）高频感应加热。盛放材料的导电坩埚的周围绕有高频线圈，当线圈中有高频电流时，坩埚中感应产生电流而升温，从而使材料受热汽化。
（4）电弧加热。被蒸发材料作阴极，耐高温的钼杆作阳极，端部呈尖状，在高真空下通电时，在两电极间有一定电压，使两电极间产生弧光放电，使阴极材料蒸发。
（5）激光加热。用激光束作为热源，使被蒸发材料汽化。
（6）对于化合物与合金材料，有闪蒸蒸发（把薄膜材料做成细小颗粒或粉末状通过一定装置使其以极小的流量逐渐进入高温蒸发源）、多源蒸发（将合金薄膜所需的元素各自置于单独的蒸发源中，同时加热，并独立控制蒸发源的温度）、反应蒸发（把活性气体导入真空室，使活性气体的原子、分子与来自蒸发原子、分子在衬底表面反应，生成所天化合物）。

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