干氧氧化：（优）结构致密，表面平整光亮；对杂质掩蔽能力强；钝化效果好；生长均匀性、重复性好；表面对光刻胶的粘附好，（缺）生长速率非常慢。
湿氧氧化：（优）生长速率介于干O2与水汽氧化之间；可由水温、炉温调节生长速率，工艺灵活性大；对杂质的掩蔽能力、钝化效果能满足工艺要求，（缺）表面存在羟基使其对光刻胶的粘附不好。
通常用湿氧氧化工艺制备较厚的二氧化硅层。在实际生产中，对于制备较厚的二氧化硅层来说往往采用干氧-湿氧-干氧相结合的氧化方式，既保证了二氧化硅层表面和Si-SiO2界面的质量，有解决了生长效率的问题。
（简答题）
简述干氧氧化与湿氧氧化各自的特点，通常用哪种工艺制备较厚的二氧化硅层？
正确答案
答案解析
略
相似试题
（判断题）
在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。
（简答题）
固体饮料生产中常用的干燥方法，简述各自的特点？
（简答题）
简述生物氧化的特点及发生部位。
（简答题）
简述均相催化氧化一般具有哪些特点？
（简答题）
氧化还原滴定中的指示剂分为几类？各自如何指示滴定终点？
（单选题）
摩尔葡萄糖通EMP和TCA循环彻底氧化共产生多少摩尔ATP（）
（填空题）
为防止果蔬在制作过程中氧化，常用的氧化剂有（）、（）等。
（填空题）
常用的氧化剂有（）、（）、（）等；常用的还原滴定剂有（）、（）、（）。
（填空题）
在原核细胞中，下列物质被彻底氧化，各自可产生多少分子ATP？ 丙酮酸：（）、NADH：（）、F-1，6-diP：（）、PEP：（） 、DHAP：（）。
