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(简答题)

什么是扩散工艺?

正确答案

扩散是微电子工艺中最基本的工艺之一,是在约1000℃的高温、p型或n型杂质气氛中,使杂质向衬底硅片的确定区域内扩散,达到一定浓度,实现半导体定域、定量掺杂的一种工艺方法,也称为热扩散。

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