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(简答题)

在实际检测中如何选择探头的晶片尺寸?

正确答案

探头晶片尺寸的大小对缺陷的检出能力影响很大,晶片尺寸大,缺陷检出灵敏度高、指向性好,反之越底。在检测厚度大的工件时,为了有效地发现远距离的缺陷宜选用大晶片探头;在检测厚度较小、表面粗糙、曲率较大或小型工件时,为了提高缺陷的定位、定量精度和减少耦合损失宜选用小晶片尺寸的探头,这样可有效地发现被检工件中的各类缺陷。

答案解析

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