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(填空题)

普通加热工艺镀制的薄膜微观结构是柱状结构,为了改善膜层结构,提高聚集密度,分别出现了三种成膜工艺()、()、()。

正确答案

离子辅助镀;反应离子镀;溅射镀

答案解析

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