和波谱仪相比，能谱仪在分析微区化学成分时有哪些优缺点？

能谱仪全称为能量分散谱仪（EDS），波谱仪全称为波长分散谱仪（WDS）。
Si（Li）能谱仪的优点：
（1）分析速度快
能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素。
（2）灵敏度高
X射线收集立体角大，由于能谱仪中Si（Li）探头可以放在离发射源很近的地方（10㎝左右），无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高。此外，能谱仪可在低入射电子束流条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。
（3）谱线重复性好
由于能谱仪结构比波谱仪简单，没有机械传动部分，因此稳定性和重复性好。
（4）对样品表面没有特殊要求
能谱仪不必聚焦，因此对样品表面没有特殊要求，适合于粗糙表面的分析工作。能谱仪的缺点：
（1）能量分辨率低
峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到，从而使得Si（Li）检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率（160eV）比波谱仪的能量分辨率（5eV）低。
（2）分析元素范围限制
带铍窗口的探测器可探测的元素范围为11Na~92U，而波谱仪可测定原子序数从4-92之间的所有元素。
（3）工作条件要求严格
Si（Li）探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至完全被破坏。

略