试述超滤装置化学清洗的操作过程。

（1）按停机程序关闭超滤装置，关闭装置上的所有阀门。
（2）在清洗溶液箱中配制好1%～2%的柠檬酸或0.4%的HCl溶液，并充分搅拌使其混合均匀。
（3）启动清洗水泵，缓慢打开清洗水泵出口阀、超滤装置清洗液进出阀，控制每个膜组件以1000L/h的流量让清洗溶液进入膜组件，并返回清洗溶液箱中。循环清洗时间为30min。
（4）关闭清洗泵，静置浸泡60min。
（5）将清洗溶液箱和清洗过滤器放空，并用清水冲洗干净。
（6）打开超滤装置正排阀、反排阀和产排阀，排净清洗液。
（7）打开超滤装置的正洗阀、正排阀和产排阀，冲洗至进水和产水的电导率差值（高出之值）在20μS/cm之内。
（8）返回生产运行状态。

略