（多选题）
微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。
A台阶仪
B干涉显微镜
C光切显微镜
D扫描电镜
E椭偏仪
正确答案
答案解析
略
相似试题
（简答题）
什么是工艺？电子工艺学的研究领域是哪些？
（单选题）
在确定扩散率的测结深实验中，结深的测量是采用HF和（）的混和液对磨斜角进行化学染色的。
（简答题）
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（简答题）
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（简答题）
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（简答题）
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（简答题）
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（简答题）
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（简答题）
电子产品的设计文件有哪些种类？各起什么作用？可以按文件的样式将设计文件分为三大类：文字性文件、表格性文件和工程图。
