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(简答题)

扫描电镜分析有哪些特点?

正确答案

(1)10-30mm的试样,制样简单;
(2)场深大、适于粗糙表面和断口,图像富有立体感和真实感;
(3)放大倍率变化范围大15倍~20万倍;
(4)分辨率:3-6nm;
(5)可用电子学方法、控制和改善图像质量;
(6)可多功能分析(微区成分、阴极荧光图像和阴极荧光光谱、晶体管或集成电路的PN结及缺陷);
(7)可动态分析(加热、冷却、拉伸等)。

答案解析

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