(多选题)
下列属于OECO电池片结构的特点有()
A通过对电池片表面进行机械加工,可以得到深度约有30um的垂直的沟,机械加工后,为了消除损伤,进行了蚀刻,也有再进行纹理化的
B在电池片表面的n+层上,形成很薄的氧化膜,然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极,
C因表面电极而引起的发电面积损失非常小,减反射膜性能好,电极和硅界面状态良好,可以得到高的转换效率
D为了钝化和防止反射,用PECVD法形成SiN膜
正确答案
答案解析
略
A通过对电池片表面进行机械加工,可以得到深度约有30um的垂直的沟,机械加工后,为了消除损伤,进行了蚀刻,也有再进行纹理化的
B在电池片表面的n+层上,形成很薄的氧化膜,然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极,
C因表面电极而引起的发电面积损失非常小,减反射膜性能好,电极和硅界面状态良好,可以得到高的转换效率
D为了钝化和防止反射,用PECVD法形成SiN膜