1）沟道效应：衬底为单晶材料，离子束准确的沿着晶格方向注入，几乎不会受到原子核的散射，其纵向分布峰值与高斯分布不同。一部分离子穿过较大距离。
2）抑制方法：
○1硅片偏转一定角度注入
○2使用质量较大的原子注入
○3大剂量注入（形成非晶层）
○4隔介质膜注入
（简答题）
什么是沟道效应？抑制方法？
正确答案
答案解析
略
相似试题
（名词解析）
窄沟道效应
（名词解析）
沟道电导调制效应
（简答题）
为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？
（简答题）
何谓压延效应？产生的原因及减小的方法是什么？
（简答题）
“交互抑制说”理论是谁提出的？指的是什么？在此基础上形成了什么心理治疗方法？
（简答题）
什么是 DNA 甲基化? 简要说明甲基化的检测方法及其生物学效应。
（单选题）
染色体倒位的一个主要遗传学效应是抑制交换，降低连锁基因之间的重组率。然而，导致这一效应的实质是（）。
（填空题）
具有反馈抑制效应的酶叫（）
（简答题）
在自由基聚合反应中，什么条件会出现自动加速现象？试讨论其产生的原因以及促使其产生和抑制的方法。
