（判断题）
换电之后扩散泵要重新预热50分钟后才能升高阀.
A对
B错
正确答案
答案解析
略
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（判断题）
换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。
（判断题）
手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
（简答题）
假设已恒温了30分钟，突然通知马上要换电，请详细说明从接到通知到开始镀膜整个处理过程.
（判断题）
关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
（简答题）
刚开机时为什么要预热扩散泵油？在什么情况下扩散泵油会被氧化？
（判断题）
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（判断题）
扩散泵油被氧化后，仍然可以使用一段时间。
（填空题）
机器大清洗后应进行（）和（）处理，才能正常生产。
（简答题）
在使用扩散泵应注意哪些事项？
