综述精密超精密加工技术的现状和发展趋势。

基于超精密及纳米加工技术的重要性，国内外对该技术的研究和开发都投入了大量的人力和财力。超精密加工技术在国际上处于领先地位的国家有美国、英国和日本，目前这些国家的超精密加工技术正向纳米精度发展。以精密和超精密机床为标志，目前世界各国的超精密机床已发展到了极高的水平。
在测量技术方面，广泛采用激光干涉仪、电容式测微仪、莫尔条纹光学尺甚至扫描隧道显微镜等技术实现精密超精密测量。
我国的超精密加工技术研究始于60年代末，在80年代有几个机床厂生产液体静压轴承主轴的超精密车床和空气轴承主轴的磁盘车床，80年代中后期，我国已具有世界先进水平的超精密加工机床及机床部件，并向专业化批量生产发展。
当前，超精密及纳米加工技术的发展趋势主要表现在以下一些方面：
1.向高精度方向发展，向加工精度的极限冲刺，由现阶段的亚微米级向纳米级进军，其最终目标是做到“移动原子”，实现原子级精度的加工。
2．向大型化方向发展，研制各种大型超精密加工设备，以满足航空航天、电子通信等领域的需要。
3.向微型化方向发展，以适应微型机械、集成电路的发展。
4.向超精结构、多功能、光机电一体化、加工检测一体化方向发展，并广泛采用各种测量、控制技术实时补偿误差。
5.不断出现许多新工艺和复合加工技术，被加工的材料范围不断扩大。
6.在作业环境建造方面诸如高性能的基础隔振技术、净化技术与环境温控技术将有更大发展。

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