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(简答题)

解释投射电子能显微镜。

正确答案

TEM把加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的电子碰撞而电子与样品中的原子的碰撞而改变方向,从而产生立体角散射,散射角的大小与样品的密度、厚度有关,因此可以形成明暗不同的影像。TEM是惟一定量测量硅片上一些非常小特征尺寸的测量工具。

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