（多选题）
下列哪些部件在机器运行时需要冷却水？（）
A电子枪
B扩散泵
C坩埚盘
D晶振头
正确答案
答案解析
略
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（简答题）
机器镀膜结束，没有直接充入大气，而是先冷却，冷却的目的是什么？
（简答题）
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（判断题）
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每台机器安装修正板的目的是（）。
（填空题）
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（判断题）
手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
