粗氩经除氧干燥后得到的工艺氩，此时还需进一步净除其中的氮和过量氢，才能获得精氩（含氩99.99%以上）。一般采用精馏法在精氩塔中除氮和氢，它的原理如图65所示。工艺氩在热交换器中冷却后节流进入精氩塔中部，氩相对于氮是难挥发组分，因此在下流液中的氩含量不断提高，在塔底可得到高纯度液氩。上升蒸气经多次部分冷凝后，氮和少量的过量氢均在塔顶中（氢的液化温度比氮更低，所以不可能冷凝），其中含氩仍有40%左右。精馏所需的上升气一部分来自塔底蒸发的氩气。液氩的蒸发是用来自下塔的气氮作为热源。精馏所需的回流液是来自上升气在冷凝器中部分被冷凝的液体。冷源采用经节流后的液氮，一部分来自主塔，一部分来自在底部蒸发器中被冷凝的液氮。精氩产品可以以液态方式引出，也可以经加压回收冷量后充瓶。
精氩塔的操作工况主要取决于冷凝器与蒸发器的工作能否很好配合。如果冷凝器的冷量过多，冷凝量过大，回流液过多，则氮部分蒸发就不充分，底部的氩可能被氮污染，降低氩纯度。如果压力气氮量过少，蒸发器中蒸发的气量减少，使回流比过大，也会出现上述现象。冷凝器压力过低，液氮温度过低，氩还可能冻结成固体而堵塞冷凝器管。因此，在操作中必须控制好压力及阀门开度减少不必要的额外阻力。
