（单选题）

以下关于MEMS概念的描述中，错误的是（）。

A通过微细加工技术及微机械加工技术在半导体基板上制作的微型电子机械装置

B在微电子学中衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度是特征尺寸

C特征尺寸为1μm~10mm为小型机构

D特征尺寸为1nm~10μm为纳米机械

正确答案

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略

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