(简答题)
对减反射膜材料的总体要求;TiO2膜制备工艺,反应方程式。
正确答案
要求:能具有良好的减反射效果,还要求透明度好,热膨胀系数少,与硅片粘附性好,抗辐射,耐腐蚀。喷涂热(水)解法工艺:利用N2携带含钛酸异丙酯的水蒸气,喷涂到加热的硅片上表面,发生水解反应。反应:Ti(OC3H7)+2H2O==TiO2+4(C3H7)OH
答案解析
略
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(填空题)
光电极是将镀有()的氧化泡沫作为导电性膜敷在(),然后将胶状的Tio2涂在上面,在450℃进行焙烧,得到由10~30nm的TiO2纳米粒子的沉积所构成的多孔物质膜所形成的。
(判断题)
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