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(简答题)

对减反射膜材料的总体要求;TiO2膜制备工艺,反应方程式。

正确答案

要求:能具有良好的减反射效果,还要求透明度好,热膨胀系数少,与硅片粘附性好,抗辐射,耐腐蚀。喷涂热(水)解法工艺:利用N2携带含钛酸异丙酯的水蒸气,喷涂到加热的硅片上表面,发生水解反应。反应:Ti(OC3H7)+2H2O==TiO2+4(C3H7)OH

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