(判断题)
CMP带来的一个显著的质量问题是表面微擦痕。小而难以发现的微擦痕导致淀积的金属中存在隐藏区,可能引起同一层金属之间的断路。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
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(判断题)
化学机械平坦化,简称CMP,它是一种表面全局平坦化技术。
(单选题)
下列哪种情况不属于表面质量问题()。
(判断题)
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()能显著地改变液体的表面强力和二相间界面张力,因此是形成稳定液膜的关键。
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(单选题)
()什么的普及应用,是现代社会的一个显著标志。
(判断题)
20世纪90年代初期使用的第一台CMP设备是用样片估计抛光时间来进行终点检测的。