当滤油机工作一段时间后，精滤器中会残存一些杂质，这时出油会减少或不能进油，压力超高报警，亦可通过压力表反映出来，则需用真空分离器内的干净液对精滤器进行反冲洗。
（1）先调整阀门（开启流程图中反冲阀、反充出油阀，关闭流程图出油阀、循环阀），使油路流径：真空分离器内的油液、油泵、精滤器、反冲出油阀出油。
（2）将精滤器下面的排污口接上油管。
（3）采用点动启动油泵（即间断性的启闭油泵），则可对精滤器进行反冲洗。
（4）反冲洗后的油液，可经过沉淀，将上面的注液抽取再利用，沉淀在下面的残物即可去掉。
