A角
BTS
C角，LS和TS的交接处
（填空题）
在TBA22中TS表示（）。
答案解析
TBA22的停机方式有（）种，分别是（）。
TBA/22图案校正的生产图案范围是（）。
（单选题）
TBA/22无菌室压力是用（）来监测的
（简答题）
TBA/22共有多少程序步骤，分别是什么？
TBA22的拉耳间隙是（）。
TBA/22夹爪间隙是（）。
TBA/22用的夹爪润滑油是（）。
TBA/22的LS的压力是（）N到（）N。
