（1）火花源双聚焦质谱仪（SSMS）：进行无机高纯固体材料直接和全面分析的主要分析技术。
（2）感应耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：是一种新型的无机元素和同位素分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素。也可进行同位素分析、单元素和多元素分析；环境样品分析；玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；地质学研究；生物食品及医药临床研究；核材料分析；石油化工样品分析；
（3）辉光放电质谱（GDMS）：进行无机高纯固体材料直接和全面分析的主要分析技术。金属及合金材料；半导体材料；无机非金属材料；薄层分析、深度分布剖面分析等。
（4）二次离子质谱仪（SIMS）：二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息，分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度，可达到ppm甚至ppb的量级，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。
