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(填空题)

电容式传感器的优点主要有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、()、()。

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    电容式传感器的优点主要有测量范围大、灵敏度高、动态响应时间短、机械损失小、结构简单、()。

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    变间距式电容传感器的灵敏度与()成反比,所以适合于微小位移的测量.变面积式电容传感器的灵敏度与()成反比,所以不适合微小位移的测量.

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