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(简答题)

为什么要进行显影后检查?

正确答案

为了查找光刻胶中成形图形的缺陷,鉴别并除去有缺陷的硅片,用来检查光刻工艺的好坏,为光学光刻工艺生产人员提供用于纠正的信息。

答案解析

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