(简答题)
在调整旋涂时,怎样提高头部OD?
答案解析
如果旋涂室内温度升高,湿度不变,OD会如何变化?
如果旋涂室内湿度升高,温度不变,OD会如何变化?
如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆?
当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时,应如何调整?
OD值过高如何调整?
如何调整OD?
当旋涂机报警冷却梁输入arm手放碟出错怎么调整?
简述OD的调整有哪些类型?