（多选题）
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A离子、电子
B中性原子
C分子
D自由基
正确答案
答案解析
略
相似试题
（名词解析）
辉光放电
（单选题）
离子氮化是在以下（）中进行辉光离子放电。 Ⅰ．NH3；Ⅱ．N2；Ⅲ．NO2。
（填空题）
机械通风是指利用（）（风机、风扇等）产生压力差来实现（）的方式。可分为（）、（）和个性送风三种形式。
（填空题）
电容放电通常伴有迅速消失的（），它是产生（）的主要原因，应设法加以（）。
（判断题）
浸泡式蚀刻通常使用添加了过硫酸盐或过氧化氢的硫酸作为蚀刻液。
（判断题）
焊条电弧焊是利用电弧放电时产生的热量熔化焊条及焊件，从而获得牢固接头的焊接过程。
（单选题）
通常使用添加了过硫酸盐或过氧化氢的硫酸作为蚀刻液（）。
（填空题）
碱性蚀刻中蚀刻不足可能是喷淋压力不足造成，其解决方式为（）。
（填空题）
线切割加工是利用（）和工件之间的脉冲放电所产生的电腐蚀作用，对工件加工的一种工艺方法。
