（简答题）
解释离子束扩展和空间电荷中和。
正确答案
由于电荷之间的相互排斥，所以一束仅包括正电荷的离子束本身是不稳定的，容易造成离子束的膨胀即离子束的直径在行进过程中不断的增大，最终导致注入不均匀。离子束可以用二次电子中和离子的方法缓解，被称为空间电荷中和
答案解析
略
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（填空题）
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（简答题）
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