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(简答题)

浅析纳米(结构)薄膜的制备方法。

正确答案

溶胶—溶胶法;电沉积法;高速超微粒子沉积法;等离子体化学气相沉积技术;溅射法;化学气相沉积法;惰性气体蒸发法。

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