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(简答题)

薄膜样品的基本要求是什么?具体工艺过程如何?双喷减薄与离子减薄各适用于制备什么样品?

正确答案

样品的基本要求:
1)薄膜样品的组织结构必须和大块样品相同,在制备过程中,组织结构不变化;
2)样品相对于电子束必须有足够的透明度
3)薄膜样品应有一定强度和刚度,在制备、夹持和操作过程中不会引起变形和损坏;
4)在样品制备过程中不允许表面产生氧化和腐蚀。
样品制备的工艺过程
1)切薄片样品
2)预减薄
3)终减薄离子减薄:
1)不导电的陶瓷样品
2)要求质量高的金属样品
3)不宜双喷电解的金属与合金样品双喷电解减薄:
1)不易于腐蚀的裂纹端试样
2)非粉末冶金试样
3)组织中各相电解性能相差不大的材料
4)不易于脆断、不能清洗的试样

答案解析

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