高比电阻的粉尘到达阳极板形成粉尘层时，所带电荷不易释放，这样在阳极板粉尘层面上形成一个残余的负离子层，以空间电荷对电场的影响可知，它将屏蔽部分通向电晕极的电力线，从而削弱电晕极附近的场强而提高阳极板附近的场强，造成电晕区电离减弱，电晕电流下降。随着阳极表面积灰厚度增加，由于残余电荷分布不均匀性，会使阳极局部的粉尘层的电流密度与比电阻的乘积超过粉尘层的绝缘强度而击穿，发生局部电离——反电晕。
防止反电晕的措施有：采用双区电除尘器，采用脉冲电源，采用微机控制最佳火花电压及振打周期控制，采用宽间距，输助电极等。
