（填空题）
根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为：（）、（）、（）。
正确答案
气相外延；液相外延；固相外延
答案解析
略
相似试题
（判断题）
外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。
（判断题）
高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。
（判断题）
外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。
（填空题）
在外延工艺中，如果膜和衬底材料（），例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（）；反之，膜和衬底材料不一致的情况，例如硅衬底上长氧化铝，则称为（）。
（简答题）
制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层，再在外延层中扩散硼、磷而成的。
（简答题）
制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层，再在外延层中扩散硼、磷而成的。
（简答题）
制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层，再在外延层中扩散硼、磷而成的。
（简答题）
制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层，再在外延层中扩散硼、磷而成的。
（填空题）
常压连续杀菌设备常用（）作加热介质，按加热方式可以分为（）式和淋水式两种.这种杀菌设备常用（）式输送机输送，按传送方式可以分有（）层式和（）层式。
