（简答题）

如何清理溅镀机？

正确答案

将溅镀机打到OFF状态，卸下MASK和靶材，将绝缘套用小刀清洁干净，再用酒精清洁PA、SA与主仓接触部位，最后安装好靶材和MASK，用吸尘器吸干净即可。

答案解析

略

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