（填空题）
HMDA装置的真空泵是（）式和（）式。
答案解析
HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。
HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。
HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。
（判断题）
HMDA真空机组有三级真空泵。
（单选题）
目前HMDA装置内部有（）套氮封系统。
（多选题）
HMDA装置中常见的操作有（）
HMDA装置五楼以上设备有（）
