(简答题)
给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么?
正确答案
投影掩膜版是一种透明的平板,在它上面有要转印到硅片上光刻胶层的图形。投影掩膜版只包括硅片上一部分图形,而光掩膜版包含了整个硅片的芯片阵列并且通过单一曝光转印图形。
答案解析
略
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(简答题)
解释什么是暗场掩模板。
(判断题)
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(简答题)
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(简答题)
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(名词解析)
掩
(名词解析)
逆掩断层
(名词解析)
逆掩断层与冲断层
(名词解析)
掩星带
(名词解析)
掩