（1）气体泄漏。向外泄漏气体通常发生在密封面、焊缝和管路接点处；内部泄漏常发生在盆式绝缘裂缝和SF6气体与油的交界面（SF6电缆头）。
（2）SF6气体含水量太高。SF6气体含水量太高引起的故障几乎都是绝缘子或其他绝缘件闪络，表面闪络的绝缘子需要彻底清洗或更换。这种故障常发生在气温突变或设备补气之后。
（3）杂质使GIS闪络。消除导电杂质影响的有效办法是：当GIS安装完毕后，采用小容量电源施加高于运行电压的交流电压，如果杂质很小，它可能在放电中烧毁；如果杂质较大，在交流电压作用下，它会运动到低场强区。运行中的GIS，如果闪络多次重复发生，通常是由自由导电杂质引起的，特别是在母线的水平与垂直部分的交叉处更是如此。这类故障的处理是清扫或更换受影响的部件。
（4）电接触不良。在GIS内部有些金属部件是用来改善电场分布的，在实际运行中，这些部件并不通过负荷电流。这些部件经常使用铝质的弹性触头与外壳或与高压导体进行电气连接，运行中可能因松动而导致接触不良，最后导致GIS内部闪络。
（5）绝缘子击穿。运行几年后可能发生。
（6）相对地击穿。由于插接式触头未完全插入触座，可能造成故障。一旦触头有问题，大多可导致相对地击穿。
（7）误操作。在GIS的运行中，操作不当引起的故障是多方面的，如将接地刀闸合到带电相上，如果故障电流很大，即使是快速隔离开关也会损坏。因此，出现这类误操作后，应检查触头，如果需要，应更换某些部件。
低速接地刀闸开断距离不够或带负荷拉闸，电弧可能持续到断路器断开为止。如果故障电流很大（10kA以上），不仅是触头损坏，而是整台隔离开关需更换或彻底检修。
