文献定性分析的步骤是：
第一步，整理资料。主要就是将所摘录的文献资料按问题的不同分别归类，排出大致的顺序，并加以编号。在这一过程中要注意继续鉴别文献资料的真伪，进一步保证其可靠性。
第二步，分析和确定文献资料与调查研究主题的关系。对于初步整理好的文献资料，先要仔细地、反复地推敲，理清文献资料内在的逻辑关系，从中归纳出一个个精准的概念，并进一步由概念演绎成推理，即形成基本观点。然后，要认真思考这些基本观点及其所反映内容与调查研究主题的关系，明确说明主题要义所在及逻辑层次和逻辑顺序，形成课题理论架构。
第三步，初步确定调查研究课题的基本框架。在这一步骤中，要根据课题的理论架构，对原定文献资料做进一步的筛选，通过反复比较，判断其应用价值的大小，最终确定其中必用的成分，舍弃无用部分，形成课题的内容框架，然后结合理论架构，形成课题的基本框架。
