（简答题）

CCD光注入方式有哪几种，哪个好，为什么？

正确答案

正面照射（光从栅极入射，光通过透明的电极和二氧化硅进入CCD的耗尽层）、背面照射（光从半导体衬底入射，衬底必须很薄）和中心照射。背面照射好。原因：正面照射，电极的反射散射作用导致灵敏度降低，电极和二氧化硅界面处多次反射，引起某些波长的光产生干涉，出现若干明条纹，使光谱响应曲线出现若干峰。

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略

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