（单选题）
（）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。
A点缺陷
B线缺陷
C面缺陷
D微缺陷
正确答案
答案解析
略
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（填空题）
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